AMAT推有2個(gè)成膜室的觸摸面板制造裝置
摘要:美國(guó)應(yīng)用材料(AMAT)于當(dāng)?shù)貢r(shí)間2011年4月12日發(fā)布了觸摸面板用濺鍍?cè)O(shè)備的新產(chǎn)品“AKT Aristo Twin”。其特點(diǎn)是,1臺(tái)設(shè)備中擁有兩個(gè)獨(dú)立的成膜室,能夠同時(shí)分別形成薄膜。處理能力提高到了原來(lái)的約2倍。 此次的新產(chǎn)品最大支持2200mmx2500mm的基板尺寸。在玻璃
閱讀:8942011年05月25日 09:13:02