無(wú)塵室用空調(diào)箱與建筑材料選用時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)
摘要:無(wú)塵室有五個(gè)特性 : (l)耐久性;(2)成本; (3)適應(yīng)性; (4)可維護(hù)性;(5)清洗 。 (1) 耐久性: 無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇鋁,基于它的耐
閱讀:25352011年01月10日 08:53:50