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　　隨著空氣內散布的微小氣狀分子污染物(AMC)，對半導體及光電等精密制程的品質造成舉足輕重的影響時，其品質問題所延伸的成本提高及良率降低已然成為不可忽視的重要議題。

　　奇鼎科技率先業界于多年前始研發制程一整合線上即時(In－line)連續監看ppbv－pptv等級的微污物(nano－contamination)偵測系統，由廣泛的物種觀察結果，集結而成的強大品質資料庫，提供高階制程與時俱進的品質控制方案。

　　憑藉著對先進制程環境中空氣未知物的了解，奇鼎科技推出“AMC去除控制整合節能方案”作為微污染物去除的對策。應用包括制程的微環境控制(Mini－environment)及廠房環境(Fab)的外氣供氣處理，提供先進制程一個完整的AMC連續監測及去除控制方案。

　　奇鼎科技整合線上連續監測及AMC去除控制的完整方案，提供先進制程一個完整的空氣微污染物控制之品質精進方案，此圖以Array制程為范例，解釋此方案的架構。

　　以往微環境的空氣控制強調的僅有精密的溫濕度議題，而此領域多年來多由日系設備掌握資源。2010年起由奇鼎科技成功研發制造的TAU(Thermal AMC Control)系列，不但提供超前業界標準的精密溫濕度控制，可在運轉后短時間達到溫度精度控制±0.5度C結合濕度精密控制±1%RH，同時去除AMC效率可達97%的獨家過濾方式。

　　此套系統應用于先進制程時，可提供恒溫恒濕的層流控制于制程環境中，空氣均勻分布使產品降溫狀態達到最佳化；結合微污染物去除的精準微環境控制效果，去除環境中對產品品質有疑慮的微污染物。

　　此項獨家特殊的AMC去除方法，另可應用于外氣空調箱(MAU)；除了在外氣處理的第一段達到AMC去除的效果，提供廠房一個低微污物的環境保證，更可同時為馬達耗電節能約90%至98%，在先進制程品質控制精進的方案上，達到品質和成本兼顧的完美搭配。

　　微環境控制與監測的整體解決方案(Total Solution)領域，經由奇鼎科技數年來的耕耘，已獲得臺灣一級晶圓代工及面板廠的肯定，目前更持續朝海外市場開拓、精進，成為更多新進制程品質進階計畫的助力。

　　藉由多年海內外實績已證實，在制程環境空氣中所含的微污染物，利用線上監看搭配微環境控制的完整方案，提供高階制程可靠的連續性分析控制，將大幅降低人為因素造成品質監控的異常和成本支出，為此領域開拓一個品質精進的新紀元。