日前，“上海造”首臺4.5代高分辨率平板顯示屏光刻機，在上海微電子裝備公司下線進入上海天馬用戶生產線。這是繼先進封裝光刻機之后，上海集成電路裝備領域的又一次突破。而這背后離不開上海科技創業投資（集團）有限公司的資本助力。
去年8月18日，上海最早組建的風險投資公司上?？萍纪顿Y公司與上海創業投資有限公司戰略重組成立上?？苿摷瘓F，成為上海乃至全國最大的國有創業投資機構之一。目前，上?？苿摷瘓F資產總額超過69億元，受托管理政府專項資金100億元，所涉的投資領域創造了近10萬個就業崗位。
上?？苿摷瘓F負責人表示，聚焦上海戰略性新興產業，堅持引導性的定位，同時兼顧市場化原則，是科創集團作為國有投資基金的特色。特別是，在一些風險高、投入大的先導性產業，要發揮示范帶動效應，彌補市場的缺位。
13年前，國家科技部重大科技專項100納米高端光刻機研制任務落戶上海。業界公認，高端光刻機制造難度巨大，號稱人類制造最精密的設備，全世界只有荷蘭ASML，日本Nikon、Canon具備該設備的制造能力。
上海微電子裝備副總經理賀躍進表示，當時考慮到光刻機是智能裝備最終要產業化，因此決定用公司的方式，而不是傳統科研機構研究后再產業化的路子。但，由于國內沒有任何參照物，而且存在失敗風險。
而上?？仆叮韵铝诉@只“螃蟹”，成為新公司的發起人之一，當起了大股東。這一當，就是十幾年。如今，上海微電子裝備已經實現集成電路先進封裝光刻機、平板顯示光刻機、高亮度LED三個類型的產業化，封裝光刻機更是占據國內市場份額的90%左右，一舉打破了國外的長期壟斷。
在集成電路領域的另一國家重大專項——極大規模集成電路制造中的等離子體刻蝕機，也鐫刻下了上?？苿摷瘓F的身影。承擔這項歷史重任的中微半導體設備有限公司由上海創投參與發起設立。同樣，歷經十年培育，才迎來開花結果之日。如今，中微用于極大規模集成電路芯片制造前道的等離子體介質刻蝕設備已經實現量產，這款設備決定了集成電路的線寬和集成度，更決定了國內集成電路產業發展的高度。
上海科創集團也由此初步建立起圍繞集成電路等戰略性新興產業的投融資機制。集團負責人表示，未來將加大對“四新經濟”的投資，重點投資機器人、3D打印、智能傳感器等引領制造業發展趨勢的重點方向，智慧照明、移動醫療、車聯網等制造與服務相融合的先進方向，以及網絡視聽、互聯網金融等跨界融合催生的新型服務業態。
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