01 演講嘉賓介紹
王序進院士在海內外長期從事微納加工、芯片制造核心工藝和設備的研發，是該領域的世界級頂尖專家。在齒輪精密加工領域研發成功了高效經濟成型磨齒工藝，獲得中國首屆青年科技獎。研發的LED藍寶石墊底超精密加工技術為世界首次實現LED量產做出了重大貢獻。在半導體制程領域研發成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設備，這一成果得到國際CMP業界高度評價，并獲得日本精密工學會技術獎。世界上首次研發成功了帶型單層硬質CMP研磨墊工藝并實現SoC半導體芯片CMP制程量產。研發成功了新型3層構造CMP研磨墊，實現世界上最高的平坦度和均勻性的綜合CMP性能，并實現DRAM半導體存儲器芯片CMP制程量產。研發成功了浸潤式光刻機投影鏡頭在線檢測用新型光學微納器件，實現高端半導體芯片浸潤式光刻制程穩定量產。在先進影像技術領域，研發成功了世界最高性能的在單個圖像傳感器上同時實現RGB可視光和NIR近紅外線成像的多光譜照相機。王序進院士在日本、美國、中國、中國臺灣、韓國獲數十項授權發明專利。
02 論壇議程
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