深圳大學(xué)微電子研究院/半導(dǎo)體制造研究院院長王序進(jìn)院士確認(rèn)出席2021粵港澳大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)論壇
摘要:王序進(jìn)院士在海內(nèi)外長期從事微納加工、芯片制造核心工藝和設(shè)備的研發(fā),是該領(lǐng)域的世界級(jí)頂尖專家。在齒輪精密加工領(lǐng)域研發(fā)成功了高效經(jīng)濟(jì)成型磨齒工藝,獲得中國首屆青年科技獎(jiǎng)。研發(fā)的LED藍(lán)寶石墊底超精密加工技術(shù)為世界首次實(shí)現(xiàn)LED量產(chǎn)做出了重大貢獻(xiàn)。在半導(dǎo)體制程領(lǐng)域研發(fā)成功了用于低k絕緣層平坦化的全世界最低壓CMP制程工藝和設(shè)備,這一成果得到國際CMP業(yè)界高度評(píng)價(jià),并獲得日本精密工學(xué)會(huì)技術(shù)獎(jiǎng)。
閱讀:31992021年10月26日 14:49:59