應(yīng)用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX 電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng),可用于制造最先進(jìn)智能型手機(jī)及平板電腦所需的高效能主動矩陣式有機(jī)發(fā)光二極體(AMOLED ) 及平面顯示顯示屏。新系統(tǒng)采用關(guān)鍵的低溫多晶矽(LTPS)技術(shù),可將高度均勻的薄膜沉積于較先前標(biāo)準(zhǔn)尺寸超出三倍的1.95m2玻璃片上。這項(xiàng)功能讓制造業(yè)者得以大幅增加產(chǎn)量并降低成本,借此加速開發(fā)具有更大、更高解析度顯示屏的消費(fèi)性行動產(chǎn)品。
OLED技術(shù)具有色彩豐富及低功耗特色,使其成為4-5英寸智能型手機(jī)顯示屏的首選。預(yù)期新世代的平板電腦會使用更大的7-12英寸OLED顯示屏,因此產(chǎn)能擴(kuò)充勢在必行,方能迎合市場需求。此外,應(yīng)用材料公司的AKT-20K PX系統(tǒng)讓超高解析度TFT-LCD的畫素更加緊密,因此,比先前的技術(shù),可呈現(xiàn)更明亮、更清晰、更低耗能的畫面。
AKT-20K PX系統(tǒng)的關(guān)鍵在于采用應(yīng)用材料公司已專擅超過十年的先進(jìn)LTPS技術(shù)。應(yīng)用材料公司于全球已出貨100臺可將LTPS薄膜沉積于更小尺寸基板的系統(tǒng)。市場研究機(jī)構(gòu)DisplaySearch指出,2011年投資于LTPS沉積制程設(shè)備的商機(jī)將刷新紀(jì)錄,達(dá)到24億美元的規(guī)模。
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