東芝開發(fā)出了使用氧化物半導(dǎo)體TFT驅(qū)動的柔性有機(jī)EL面板,并在全球最大的顯示器學(xué)會“49th SID International Symposium, Seminar & Exhibition(Display Week 2011)”(SID 2011)上進(jìn)行了發(fā)布。通過將形成氧化物TFT時的最高工藝溫度控制在200℃,實(shí)現(xiàn)了在塑料基板上加工。在發(fā)布后舉行的開發(fā)人員見面會上,東芝展示了在塑料基板形成的試制品。
此次試制的柔性有機(jī)EL面板,屏幕尺寸為3英寸,像素為160×120。在氧化物TFT上形成了白色有機(jī)EL和彩色濾光片,實(shí)現(xiàn)了彩色顯示。TFT所采用的氧化物半導(dǎo)體為IGZO(In-Ga-Zn-O)。柵極驅(qū)動電路也是使用氧化物TFT在塑料基板上形成的。有機(jī)EL元件采用底部發(fā)光型構(gòu)造,TFT元件采用蝕刻阻擋(Etch Stopper)方式的底柵構(gòu)造。
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