氧化物TFT的發布在此次“SID”(全球最大的顯示器學會,2011年5月15~20日在美國洛杉磯舉行)上也非常多。而且,有關高可靠性的發布趨于增加,令人感到氧化物TFT終于接近了實用化水平。
單從分會名稱上看,涉及氧化物TFT的只有“Active Matrix Devices的Oxide TFT I和II”兩個,但“OLED Displays II”分會的發布也都集中于將氧化物TFT用于背板上。而且,還有將氧化物TFT應用于柔性顯示器的發布。此外,在展板會議的26項“Active-Matrix Devices”發布中,有18項都與氧化物TFT相關。這表明,作為最有希望的新一代FPD用元件技術,有大量研究人員在從事氧化物TFT的開發。
Oxide TFT I:發布200℃工藝以及降低截止電流的新技術
在“Oxide TFT I”分會上,首先東芝發布了使用以低于200℃的低溫工藝在樹脂基板上形成IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT試制的柔性有機EL面板。BT試驗結果顯示,在Vgs=20V、70℃、2000秒的條件下ΔVth=0.22V。試制面板的性能指標為:3英寸、160×120像素、2Tr+1Cap(雙晶體管單電容器電路)像素電路、底面發光型白色有機EL+彩色濾光片結構、開口率為40%。TFT內置掃描驅動電路。
韓國三星移動顯示器(SMD)發布了實現讓內置掃描電路穩定工作以及低耗電化的14英寸有機EL面板(論文編號:4.2)。使用浮游柵極降低了氧化物TFT的截止電流。
氧化物TFT的Vth一般多在0V以下,Vgs=0V條件下的截止電流較大。因此存在普通電路難以工作以及耗電量變大的問題。因此,SMD將電路的一部分制成了浮游柵極構造,在開始掃描之前設定適當的電位。在此基礎上,還通過電容耦合來控制輸出信號,確保了工作的穩定。
作為另外一種方法,SMD還發布了主動優化柵極偏壓的動態Vth控制式電路(論文編號:49.3)。試制的有機EL面板的性能指標為:14英寸、960×540像素、3Tr+1Cap像素電路。
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